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TMC S500超聲掃描顯微鏡



一、應用領域
1、半導體芯片封裝分層檢測
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序號 |
測量能力 |
能力描述 |
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1 |
標準塊測量誤差 |
測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。 |
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2 |
工件測量誤差 |
選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進行檢測,三次檢測結果釬著率差值在±1%以內(nèi)。 |
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3 |
厚度測量范圍 |
Epoxy材料: |
Cu材料: |
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0.5 ~2mm(50MHz探頭) |
0.5 ~ 1.4mm(25MHz探頭) |
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1.0 ~ 4.0mm(15MHz探頭) |
1.2 ~ 3.7mm(15MHz探頭) |
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注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
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4 |
缺陷識別能力 |
在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內(nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米(15MHz、25MHz探頭)和0.07毫米(50MHz探頭)。 |
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二、軟件功能及特點
1、軟件功能
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序號 |
軟件功能 |
功能描述 |
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1 |
手動掃描 |
可以通過手動的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結合面結合情況,并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測結果。 |
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2 |
探頭與C掃圖像對位 |
可通過點擊C 掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。 |
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3 |
手動分析 |
對生成的C掃圖片可以進行各種編輯,包括加框(確認有效分析區(qū)域),測距,修改閾值,圖片剪裁,弧面補償?shù)取? |
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4 |
多種掃描模式 |
(1) A掃描:查看超聲反射或透射波形; |
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(2) C掃描:對焦深度上沿X-Y平面掃描并成像; |
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(3) 區(qū)域掃描:可自定義檢測區(qū)域,并對檢測區(qū)域進行掃描; |
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(4) 批量掃描:對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測。 |
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5 |
報告自動生成 |
可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。 |
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6 |
探頭管理 |
可對不同型號探頭進行更換或編輯。 |
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7 |
一鍵自動校準 |
可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統(tǒng)能量變化,能實時校準系統(tǒng)漂移,保證檢測結果的準確性和穩(wěn)定性。 |
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8 |
不銹鋼標準強度 |
系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS(“STainless Steel Standard”的縮寫),其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。 |
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9 |
缺陷檢測能 |
焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。 可對缺陷尺寸和面積進行自動統(tǒng)計和計算。也可根據(jù)客戶的要求,提供有償定制開發(fā)服務。 |
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10 |
厚度檢測 |
金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測。 |
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11 |
密度檢測 |
粉末冶金原材料密度分布檢測。 |
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12 |
聲速檢測 |
聲音在被測材質(zhì)中的飛行速度檢測。 |
2、軟件特點:
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一鍵校準功能 |
手動掃描(A/B/C掃描模式) |
批量掃描 |
導出報告 |
探頭切換 |
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強度檢測 |
相位檢測 |
厚度檢測 |
斷層檢測 |
權限分級 |
三、技術參數(shù)
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序號 |
名稱 |
參數(shù) |
備注 |
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1 |
整機尺寸 |
750mm×700mm×1350mm |
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|
2 |
水槽尺寸 |
350mm×220mm×120mm |
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3 |
有效掃描范圍 |
260mm×25mm×50mm |
|
|
4 |
最大掃描速度 |
300mm/s |
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5 |
圖像推薦分辨率 |
1~4000um |
|
|
6 |
定位精度 |
X/Y≤±1μm,Z≤±10μm |
|
|
7 |
重復定位精度 |
X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
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8 |
厚度檢測范圍 |
根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配 |
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四、主要配置表
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序號 |
名稱 |
規(guī)格 |
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1 |
掃描系統(tǒng) |
X、Y軸:伺服電機驅(qū)動;Z軸:步進電機驅(qū)動;自動推桿系統(tǒng):步進電機驅(qū)動; |
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2 |
水槽 |
350mm x220mmx120 mm |
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3 |
超聲發(fā)射、接收器 |
帶寬1-65MHz |
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4 |
高速數(shù)據(jù)采集卡 |
采樣頻率 500MHz |
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5 |
超聲探頭 |
配15MHz0.75in探頭一只 |
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6 |
工控機 |
i5處理器、內(nèi)存4GB 、硬盤1T、Win7 32位操作系統(tǒng)。 |
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7 |
顯示器 |
21.5"液晶顯示器一個 |
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8 |
檢測軟件 |
水浸超聲快速檢測軟件V1.0 |
五、參照標準:
1、GB/T 18694-2002 探頭及其聲場的表征
2、JB/T4008-1999 液浸式超聲波直射探傷方法
3、JB/T 9214-1999 A 型脈沖反射式超聲波探傷系統(tǒng)工作性能測試方法
4、YB/T 144-1998 超聲波探傷信號幅度誤差測量方法
六、環(huán)境條件要求:
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序號 |
名稱 |
參數(shù) |
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1 |
溫度要求 |
房間溫度 (溫控間) |
20~35°C |
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溫度梯度(時間) |
1°C /h |
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溫度梯度(時間) |
2°C /24h |
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|
溫度梯度(空間) |
1°C /m |
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2 |
濕度要求 |
空氣相對濕度 |
35℃≤50%RH |
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3 |
電源要求 |
電壓 |
220V±10%/50Hz, |
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頻率 |
50/60 Hz |
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|
耗電量 |
1~2KW |
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|
接地要求 |
接地電阻小于4歐姆 |
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4 |
水源要求 |
水質(zhì) |
自來水、去離子水或者純凈水,并且需要定期更換 |
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水溫要求 |
15~30℃ |
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5 |
周邊環(huán)境 |
磁場要求 |
禁止放在強磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設備的地方。 |
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環(huán)境要求 |
少振動、少灰塵少,無腐蝕性氣體的地方。 |
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振浮要求 |
振動:10Hz以下振動最大振幅0.7μmPP以下,10-50Hz振動的最大加速度1mmPP/S以下 |
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固定要求 |
防止震動的損壞,四周一定要固定 |
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6 |
選配要求 |
需配有UPS電源,以保護設備運行安全 |
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